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为了在系统中实现无碳氢化合物这一要求 真空分子泵现货,在前级泵不是干式泵的情况下,有必要了解涡轮分子泵的压缩比及如何给泵充气的一些基本知识。 2、压缩比 涡轮分子泵的压缩比是指前级管道(排气口处)的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同,泵对各种气体的压缩比也不同。气体分子量M 的平方根与压缩比K 的关系如图6所示 全新涡轮分子泵现货,泵对氢的压缩比很小,一般为1000 左右,这样一来如果前级管道中氢的压力为1 10- 7 Torr(13.33 Pa),那么进气口处氢的压力则小1000倍,即为1 10- 10 Torr(13.33 nPa)。由于氢是**高真空系统中主要的残余气体,所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。
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真空分子泵应用领域: 分析仪器:各类质谱仪;所相分析仪;电子显微镜:检漏仪.
工业应用:显象管排气;电子管设备:光盘镀膜设备:检漏仪系统;半导体工艺;离子刻蚀.
科研应用:高能物理;表面分析;真空技术各领域.
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