PFEIFFER TMH261-250P
泵的极限压力为10-9帕,
工作压力范围为10-1~10-8帕,
抽气速率为几十到几千升每秒(1升=10-3米3)。
德国普发TMH261-250P
极限真空:10-9hpa
在地球上,已经报道技术上产生的压力低于 10-16 hPa。
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