连云港TV551,帕纳光电,VARIAN TV551

瓦里安TV551

抽速CFF6’’:

          N2    350   l/s

          He     450  l/s

          H2    450   l/s

CFF8’’/ISO160:

           N2   550  l/s

           He   600 l/s

           H2   510  l/s

意大利瓦里安Varian Turbo-V 551分子泵

前置泵为隔膜泵的极限真空：

          2X10-9mbar(1.5X10-9Torr)

Rotational speed：42000 rpm

Start-up  time:<5minutes

较大允许温度：120℃