VARIAN TV801/TV902
(二)水环真空泵的基本类型
(3) 双级水环泵双级水环泵大多是单作用泵串联而成。实质上是两个单级单作用的水环泵的叶轮共用一根心轴联接而成。它的主要特点是在较高真空度下,仍然具有较大的抽速,佛山TV801,而且工作状况稳定。
(4) 大气水环泵 大气水环泵实际是大气喷射器串联水环泵的机组。水环泵前面串联大气泵是为了提高极限真空,扩大泵的使用范围。
安捷伦分子泵TV801/TV902
Base pressurewith recommended forepump : < 1X10-9 mbar (1X10-9 Torr)
Inlet flange : ISO160 F
Foreline flange : KF25
Rotational speed : 38000 rpm
Start-up time : <4 minutes
分子泵特征:
不用油,TV801销售,工作环境清洁,TV801维修,可到达10-10Pa的真空度。排气速度不受气体种类影响。构造复杂,价格昂贵,高速旋转,要注意安装要求。有振动。需要和其它初段排气泵组合。