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泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外 磁悬浮分子泵批发厂家，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮（或空气）的压缩比为108～109；对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9帕 磁悬浮分子泵维修价格，工作压力范围为10-1～10-8帕，抽气速率为几十到几千升每秒（1升=10-3米3）。涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面较大尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10-2帕的前级真空泵。分子泵本身由转速为10000～60000转/分的中频电动机直联驱动。
为了在系统中实现无碳氢化合物这一要求，在前级泵不是干式泵的情况下 磁悬浮分子泵维修，有必要了解涡轮分子泵的压缩比及如何给泵充气的一些基本知识。 2、压缩比 涡轮分子泵的压缩比是指前级管道（排气口处）的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同 磁悬浮分子泵维修工厂，泵对各种气体的压缩比也不同。气体分子量M 的平方根与压缩比K 的关系如图6所示，泵对氢的压缩比很小，一般为1000 左右，这样一来如果前级管道中氢的压力为1 10- 7 Torr（13.33 Pa），那么进气口处氢的压力则小1000倍，即为1 10- 10 Torr（13.33 nPa）。由于氢是**高真空系统中主要的残余气体，所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。
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