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分子增压泵压缩级的动轮与吸气级完全一样,也是平圆盘,而静轮却有区别,如 图16。压缩级的静轮是在较厚的圆盘上两边开上螺旋槽,两边的螺旋槽方向根据需要可以相同也可以相反,这样每侧的螺旋槽与相邻的动轮也构成了螺旋抽气通道,只不过此时抽气通道四个壁面,三个是静止的,仅一个是运动的 复合分子泵维修哪家好,经吸气级压缩过的气体在压缩级已不需太高的抽动系数。如压缩级静轮的螺旋方向与吸气级静轮螺旋方向相反,则可把吸气级压缩至轴心处的气体继续压缩至外圆一侧,如压缩级静轮两侧的螺旋方向相反 复合分子泵维修价格,则经一侧压缩至轴心(或外圆),另一侧将继续把气体分子压缩至外圆(轴心)。即一个静轮与动轮配合能连续完成两次压缩,分子增压泵巨大的压缩比 复合分子泵维修厂家,便是这些压缩过程叠加作用的结果。由于分子之间的碰撞可以传递动量,所以分子增压泵的拖动作用可以延伸到过渡流。
为了在系统中实现无碳氢化合物这一要求,在前级泵不是干式泵的情况下,有必要了解涡轮分子泵的压缩比及如何给泵充气的一些基本知识。 2、压缩比 涡轮分子泵的压缩比是指前级管道(排气口处)的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同,泵对各种气体的压缩比也不同。气体分子量M 的平方根与压缩比K 的关系如图6所示,泵对氢的压缩比很小 复合分子泵维修,一般为1000 左右,这样一来如果前级管道中氢的压力为1 10- 7 Torr(13.33 Pa),那么进气口处氢的压力则小1000倍,即为1 10- 10 Torr(13.33 nPa)。由于氢是**高真空系统中主要的残余气体,所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。
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