工况条件 ①流量Q:确定液体的正常、较小和较大流量,选泵时一般以较大流量为基准,并需要考虑满足较小流量的要求。 ②扬程H leybold分子泵价格,一般要求泵的额定扬程为装置所需扬程的1.05~1.1倍。 进口压力Ps和出口压力Pd,即进出口法兰处的压力,用于确定壳体的耐压和轴封的要求 ③温度T,泵的进口介质温度,应确定其正常、较低和较高温度,以选择合适结构和材质。 ④装置汽蚀余量(有效汽蚀余量)NPSHa leybold分子泵销售,确定装置系统的管路布置条件,包括送液高度(送液距离、送液走向),吸入侧较低液面,排出侧较高液面等一些数据和管道规格及其长度、材料、管件规格、数量等,以便进行系统扬程计算和汽蚀余量的校核。 ⑤操作状态,分连续操作和间歇操作两种。 3. 现场条件,包括泵的安装位置(室内、室外),环境温度,相对湿度,大气压力,大气腐蚀状况及危险 区域的划分等级等条件。
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多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。因而它非常适于**高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中 leybold分子泵,抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵,被抽气体可穿膛而过,不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等。