操作要求 4.1.1分子泵的气路接口的快接法兰的螺杆应朝上,以防松弛造成漏气; 4.1.2不能在大气状态下开分子泵,必须在达到10Pa时才能打开其相应的高阀,开启分子 泵; 4.1.3当M2(箱体2)或M7的真空度始终抽不到位时,应检查旋片泵的电磁阀工作是否 正常; 4.1.4在开分子泵前必须打开冷却水阀;在分子泵的叶轮停止运转后,必须关闭冷却水阀; 4.1.5每次停机后 涡轮分子泵,务必清洁各分子泵的进气口处,使其保持干净,以避免不必要的损坏; 4.1.6当出现报警信息“EF”时,应检查冷却水路是否通畅,可用气枪检查。确保水路顺 畅后,方可再次打开分子泵。而当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵,待后处理; 4.1.7在分子泵出现问题而不能使用时,应暂停生产,手动充大气后,更换备用的分子泵; 4.1.8当始终达不到分子泵启动条件时,应检查前级泵和电磁阀工作是否正常; 4.1.9当分子泵出现故障时,须根据故障提示作相应处理。
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优点
涡轮分子泵可不用任何阱,按操作规程工作,就能为被抽容器提供一个较为清洁的真空环境,且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了,对于小泵多用油脂润滑轴承,也有用空气轴承的,但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现,使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流,使它真正成为一种清洁的干式高真空泵
气体输送能力强
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。因而它非常适于**高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀 涡轮分子泵轴承现货,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。