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分子泵的清洗: 一般来讲,如果说前级泵没有问题,而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气(排除其它的漏气)、或着解吸附作用降低,说明真空泵有点脏了 瓦里安 涡轮分子泵,需要进行清洗,这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗,如果太脏的话,就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下: 1.关掉分子泵,进行排气。 2.从机器上拆下分子泵 涡轮分子泵,注意不要碰到接口的边缘部分。 3.拆掉冷却器、加热器(如果有的话)等 4.拆掉润滑的油包 5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。 6.往容器中用人无水酒精,高度以前级真空接口略低为宜.
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真空分子泵应用领域: 分析仪器:各类质谱仪;所相分析仪;电子显微镜:检漏仪.
工业应用:显象管排气;电子管设备:光盘镀膜设备:检漏仪系统;半导体工艺;离子刻蚀.
科研应用:高能物理;表面分析;真空技术各领域.
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