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一个涡轮分子泵（TMP）的是一个多阶段轴流式水轮机高速旋转的叶片提供通过增加压缩气体分子的概率在泵送方向移动。 “涡轮分子泵分子流条件和优化需要一个适当大小的两个阶段的旋转叶片泵或无油滚动泵排气气氛。

复合分子泵（CMP）的概念是基于结合分子拖动阶段刀片涡轮阶段在同一转子。这种设计允许：

?高临界前级压力（通常可达10 mbar的） ?选择使用较小的前级泵，或干膜片支持泵。

抽气速率（体积流量），是由转子直径，入口法兰尺寸和转速。抽速在高入口压力降低值的大小决定支持泵。

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真空分子泵应用领域： 分析仪器:各类质谱仪;所相分析仪;电子显微镜:检漏仪.

工业应用:显象管排气;电子管设备:光盘镀膜设备:检漏仪系统;半导体工艺;离子刻蚀.

科研应用:高能物理;表面分析;真空技术各领域.

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