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涡轮分子泵具有提供**清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力，故常被用户选用。然而，用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境。经调查发现碳氢化合物的来源，50%是操作失误所带来的问题，如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时，没有控制返流的安全阀，不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染。

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分子增压泵是一种新型的高真空泵，它较大的优点是清洁、节能 分子泵维修第三方供应，中真空具有**强的抽气能力，清洁真空。各种类型的真空泵由于工作机理和结构的不同所获得的真空质量是不一样的，可以分为无油真空，清洁真空和普通真空。无油真空即无任何油蒸汽污染的真空 edwards分子泵维修，是真空质量的较高境界，低温泵、离子泵以及各类干式泵可以实现无油真空。清洁真空不是**无油，而是真空中的油蒸汽分压可以降到较低的水平，从而使真空质量得到很大的提升。