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虽然在泵断开电源后就应给泵充气已被大家所接受,且很平常,但是,涡轮分子泵在切断电源后,泵要渐渐地减速,若延迟几秒或几分钟再充气会更好一些。在泵减速到它平时速度的30%~50%期间,此时泵仍能起到抽气和压缩作用。能有效地使真空室处在真空状态下且能防止碳氢化合物的返流。