帕纳光电|南平分子泵Hipace300维修

PfeifferHiPace300 Compact

 Yet Powerful turbopumps with pumping speed of up to

 260L/s forN2

分子泵维修注意事项 

 3、装入炉底料盘中的工件应符合要求，不能过高过大，

以免炉丝受热变形与工件接触造成短路现象。

磁悬浮涡轮分子泵和氦质谱检漏仪，已经使普发真空技术成为给予半导体、太阳能、FPD、LED、Touch

Panel、Glass Coating 等行业真空方案的**者 之一。

叶片的角度大，则排气速度大，压缩比小。叶片的角度小，

则排气速度小，分子泵Hipace300维修，压缩比大。分子泵的排气速度基本上不受气体种类的影响，

泵的极限压强可达10-8 Pa，但是对轻分子/原子，排气速度会有所降低。