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涡轮分子泵极限真空比扩散泵高,二手TV301分子泵,可达10-8pa。
正常工作时需要一定的前级真空度,维修TV301分子泵,其真空度高低视泵不同略有差异,
一般在1-200pa之间,可采用机械泵作为前级泵.
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