大庆分流式分子泵EXT200/200|帕纳光电

双抽口涡轮分子泵EDWARDS EXT200/200   NEXT200200

紧凑型设计：

性能**，可以实现高效系统化

可靠：

永磁上轴承和油润滑底轴承，可以实现**操作       

与 Edwards TAG 和 TIC 涡轮仪器控制器兼容：

增加多达 3 个真空计而不需要额外的真空计控制器

在使用上存在的问题也不少，在泵口处异物的混入，如玻璃碎片、垫片、螺钉等，由于泵体是垂直的，混入的异物会直接落到高速旋转的叶片上造成事故。泵抽入腐蚀性气体，如**基镓Ga(CH3)3和三乙基镓GA(C2H5)3等。在抽吸这种气体时，它会与转子的铝合金材料起化学反应，转子的晶界受到腐蚀破坏，随着气体的压力和浓度的不同，分流式分子泵EXT200/200，其破坏的速度也是不同的，少则几周，多则几个月。图6为铝合金转子表面晶界破坏的电镜图片。

EDWARDS EXT200/200   NEXT200200

压缩比：      N2   >1X10^11

                  He   1x10^6

                  H2    1.5x10^4