BOC EDWARDS 分子泵,原产地英国!
EXT200/200 NEXT200200
进气口抽速: N2 200 l/s
He 190 l/s
H2 150 l/s
英国爱德华EXT200/200 NEXT200200分子泵
进气口抽速: N2 200 l/s
He 190 l/s
H2 150 l/s
压缩比: N2 >1X10^11
He 1x10^6
H2 1.5x10^4
这个转矩的大小取决于转子筒的破坏程度(坏的原因,回转体停转的时间,回转体的形状等)。通常将发生100~25000N·m(即10~2500kg·m)的扭矩作用到定子上再传到泵体上。若是涡轮分子泵与装置连接的固定方式不当,也可能使泵的入口法兰的联接受到如此大的扭矩将固定螺钉剪断。使泵体从装置上脱落。重则前级管道联接部分也会脱落,前级管道漏气或被甩出。法兰焊接不牢而断裂造成内部零件飞出,分子泵NEXT200200现货,外壳损坏等。因此转子筒的损坏是使用上较大的安全隐患,必须引起重视。使用高速旋转机械一定要提高对安全的认识,对安全措施要做更好的分析。涡轮分子泵的使用条件要特殊注意,如在半导体制造设备上应用,在过渡流领域抽气时,要排出大量的气体,转子筒温升造成的破坏问题要作仔细的考察。