瓦里安TV801_福州TV801_帕纳光电

意大利瓦里安TV801/TV902分子泵 

Operating ambientTemperature    :   +10°C to +45 °C

Bakeout temperature :  80° C at inlet flange max.

Cooling requirements  : Forced air

Max input power: 600 VA

Stand-by power:  30 to 35 W

美国安捷伦涡轮分子泵TV801 / TV902

Pumping speed (withinlet screen) :

                              N2     680  l/s

                              He:    810  l/s

                              H2:    850  l/s

分子泵常见故障（六）

油蒸汽返流

1.突然停电或停泵时，泵内没有及时冲入干燥气体

2.前级泵返流严重