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分子增压泵压缩级的动轮与吸气级完全一样,也是平圆盘,而静轮却有区别,如 图16。压缩级的静轮是在较厚的圆盘上两边开上螺旋槽,两边的螺旋槽方向根据需要可以相同也可以相反,这样每侧的螺旋槽与相邻的动轮也构成了螺旋抽气通道,只不过此时抽气通道四个壁面 安捷伦涡轮分子泵价格,三个是静止的,仅一个是运动的,经吸气级压缩过的气体在压缩级已不需太高的抽动系数。如压缩级静轮的螺旋方向与吸气级静轮螺旋方向相反 安捷伦分子泵维修中心,则可把吸气级压缩至轴心处的气体继续压缩至外圆一侧,如压缩级静轮两侧的螺旋方向相反,则经一侧压缩至轴心(或外圆),另一侧将继续把气体分子压缩至外圆(轴心)。即一个静轮与动轮配合能连续完成两次压缩,分子增压泵巨大的压缩比,便是这些压缩过程叠加作用的结果。由于分子之间的碰撞可以传递动量,所以分子增压泵的拖动作用可以延伸到过渡流。
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