Agilent / Varian TV801/ TV902涡轮分子泵
Compressionratio: N2: >1X10^9
He: 5X10^7
H2: 2X10^6
Compressionratio(TV902):
N2:>1X10^8
He: 1X10^5
H2: 1X10^4
旋转式机械泵原理:
转子紧贴泵壁内侧旋转。固定翼随之下移,威海TV801,转子到达油面后,空气被压缩,压缩后的空气压力**外界大气压之后从排气口排出。
美国安捷伦分子泵TV801/TV902
Base pressurewith recommended forepump : < 1X10-9 mbar (1X10-9 Torr)
Inlet flange : ISO160 F
Foreline flange : KF25
操作涡轮分子泵注意事项(二)
1.选择系统前级泵的的大小时,应使涡轮分子泵的前级保持在分子流的状态下
2.不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行
3.分子泵入口应装设防护网,以避免异物进入泵内损坏泵的转子和定子叶片